ZEISS Crossbeam

Grâce à une meilleure qualité de fabrication et à des technologies de pointe en matière de finition des surfaces, les défauts sont aujourd'hui moins nombreux et plus petits. Les méthodes microscopiques doivent donc être utilisées pour trouver, localiser, préparer et étudier les défauts de surface et leurs causes profondes. Cette brochure présente une approche de microscopie corrélative pour une investigation efficace lors de l'analyse des défaillances.

Dans ce contexte, les tâches de microscopie optique sont prises en charge par le microscope numérique ZEISS Smartzoom 5, la préparation et l'investigation sont effectuées avec le laser ZEISS Crossbeam, et les deux systèmes sont corrélés par ZEISS ZEN Connect pour une localisation précise des défauts dans le MEB-FIB.

La recherche de la cause profonde des défauts peu nombreux et peu étendus sur de grands échantillons en vue d'une analyse efficace des défaillances nécessite un processus pratique de localisation, de documentation, de relocalisation, de préparation et d'investigation des régions d'intérêt.

Les microscopes électroniques à balayage avec faisceau d'ions focalisés (MEB-FIB) surmontent les limites de la préparation matérialographique conventionnelle des échantillons. Cependant, comme les microscopes électroniques ont généralement un champ de vision limité, il est parfois plus facile d'effectuer l'étape de localisation sur un microscope à éclairage. C'est pourquoi les utilisateurs ont besoin d'un système qui leur permette de localiser la zone d'image dans le microscope à éclairage et de la récupérer ensuite dans le MEB-FIB.

La solution logicielle ZEISS ZEN Connect se combine avec ZEISS ZEN Data Storage pour obtenir ces résultats. Le nouveau laser femtoseconde de la gamme ZEISS Crossbeam permet également une préparation spécifique à l'emplacement dans les grandes zones. Grâce au polissage de la coupe transversale par laser fs et FIB et à l'analyse EDS, la cause des défauts de surface dans l'exemple ci-dessus a été déterminée comme étant des chutes de fibre de carbone.

L'approche de la microscopie corrélative permet également d'étudier efficacement plusieurs régions d'intérêt. Tous les résultats sont ensuite sauvegardés dans un projet cohérent, l'option ZEISS ZEN Data Storage garantissant une accessibilité totale pour effectuer des investigations ou la création de rapports ultérieurs.