ZEISS PRISMO ultra atteint sa grande exactitude de base grâce à de nombreuses fonctions et corrections modernes. Il s'agit notamment d'une compensation thermique du pliage, d'un système d'amortissement pneumatique actif, de paliers à air améliorés et d'échelles ZERODUR® d'une résolution de 20 nm, pour une précision et une stabilité remarquables. D'autres améliorations CAA, telles que l'étalonnage optimisé du tenseur, la compensation du pliage de la sphère de référence et les corrections pour les mesures RT, garantissent une précision maximale même à des vitesses élevées et favorisent une excellente stabilité de la MMT en la protégeant des facteurs d'interférence.