ZEISS XENOS

XENOS de ZEISS dispose de deux entraînements linéaires dans la direction Y, qui sont synchronisés grâce à une nouvelle technologie développée par ZEISS : l'entraînement central. Il assure une répartition optimale de la force des entraînements en fonction de la position de l'axe X.

Ceci est possible grâce à la dernière génération de contrôleurs et d'algorithmes. C'est un élément clé de la précision maximale et de la meilleure adhérence possible à la trajectoire sur toute la plage de mesure.

ZEISS XENOS utilise des entraînements linéaires sur tous les axes. Les avantages : des vitesses élevées, une accélération très rapide, une grande précision de positionnement et des entraînements sans force de cisaillement. En conjonction avec les échelles à haute résolution, l'utilisation d'entraînements linéaires sur le ZEISS XENOS permet d'obtenir une très grande adhérence à la trajectoire et une précision de positionnement extrêmement élevée en dessous de 100 nanomètres.

Par exemple, la déviation du stylet reste plus constante, ce qui se traduit par une plus grande précision. Un autre avantage est évident lors de la mesure de surfaces courbes : plus le stylet suit la trajectoire spécifiée de manière fiable et précise, plus les erreurs peuvent être déterminées avec exactitude.
 

ZEISS XENOS utilise une céramique innovante à base de carbure de silicium pour les parties de la structure de la machine relatives à la précision. Jusqu'à présent, ce matériau a rarement été utilisé pour des pièces de taille ou de précision comparables.

Par rapport à la céramique standard à base d'oxyde d'aluminium, la céramique à base de carbure de silicium présente une dilatation thermique inférieure d'environ 50 %, une rigidité supérieure de 30 % et un poids inférieur de 20 %. Par rapport à l'acier, il offre une rigidité deux fois supérieure à celle de l'acier